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1楼2018-04-20 11:33:42

liuyulun1225

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2楼: Originally posted by pvdmaterial at 2018-04-26 13:35:42
你是要镀氮化铟薄膜是么，这个氮化铟靶材可能不是那么好做，或者你可以试一下溅射铟靶材，通入氮气，然后制备氮化铟薄膜，这样可能就是操作麻烦点，但是也是一种可行性方案~

谢谢啊。我是想做InGaN薄膜，目前有GaN靶材，想找个方式把In加进去。

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3楼2018-04-27 00:33:20

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pvdmaterial

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【答案】应助回帖

你是要镀氮化铟薄膜是么，这个氮化铟靶材可能不是那么好做，或者你可以试一下溅射铟靶材，通入氮气，然后制备氮化铟薄膜，这样可能就是操作麻烦点，但是也是一种可行性方案~

2楼2018-04-26 13:35:42

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引用回帖:

3楼: Originally posted by liuyulun1225 at 2018-04-27 00:33:20
谢谢啊。我是想做InGaN薄膜，目前有GaN靶材，想找个方式把In加进去。
...

那你可以采用共溅射的方式，溅射的时候在氮化镓靶材上面防止一些铟片，溅射一部分铟上去，这样也能打到目的；
或者是你设备允许的情况下，你可以用双靶共溅射的方式溅射，跟单质铟靶材一起使用
氮化铟靶材这个暂时用得很少，一般都是用金属单质靶材，你可以参考下

4楼2018-05-17 16:30:15

sciencetechn

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直接合成InGaN靶材再溅射

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5楼2018-07-16 18:18:31