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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 靶材购买求助，脉冲激光沉积靶材
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

[求助] 靶材购买求助，脉冲激光沉积靶材 已有2人参与

哪里有卖InN靶材的啊？想做特定形状（半圆形）的不知道可不可以啊？
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1楼 2018-04-20 11:33:42
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你是要镀氮化铟薄膜是么，这个氮化铟靶材可能不是那么好做，或者你可以试一下溅射铟靶材，通入氮气，然后制备氮化铟薄膜，这样可能就是操作麻烦点，但是也是一种可行性方案~
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2楼2018-04-26 13:35:42
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pvdmaterial at 2018-04-26 13:35:42
你是要镀氮化铟薄膜是么，这个氮化铟靶材可能不是那么好做，或者你可以试一下溅射铟靶材，通入氮气，然后制备氮化铟薄膜，这样可能就是操作麻烦点，但是也是一种可行性方案~

谢谢啊。我是想做InGaN薄膜，目前有GaN靶材，想找个方式把In加进去。

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3楼2018-04-27 00:33:20
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by liuyulun1225 at 2018-04-27 00:33:20
谢谢啊。我是想做InGaN薄膜，目前有GaN靶材，想找个方式把In加进去。
...

那你可以采用共溅射的方式，溅射的时候在氮化镓靶材上面防止一些铟片，溅射一部分铟上去，这样也能打到目的；
或者是你设备允许的情况下，你可以用双靶共溅射的方式溅射，跟单质铟靶材一起使用
氮化铟靶材这个暂时用得很少，一般都是用金属单质靶材，你可以参考下
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4楼2018-05-17 16:30:15
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接合成InGaN靶材再溅射
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸空镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
5楼2018-07-16 18:18:31
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个靶材不好做哦，你可以选择溅射铟靶材，通氮气使用
半圆形的靶材也可以做，不过要看你的具体要求，具体你可以描述详细要求之后再补充哦
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6楼2018-08-31 15:57:43
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