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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

[求助] 靶材购买求助,脉冲激光沉积靶材 已有2人参与

哪里有卖InN靶材的啊?想做特定形状(半圆形)的不知道可不可以啊?
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你是要镀氮化铟薄膜是么,这个氮化铟靶材可能不是那么好做,或者你可以试一下溅射铟靶材,通入氮气,然后制备氮化铟薄膜,这样可能就是操作麻烦点,但是也是一种可行性方案~
2楼2018-04-26 13:35:42
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pvdmaterial at 2018-04-26 13:35:42
你是要镀氮化铟薄膜是么,这个氮化铟靶材可能不是那么好做,或者你可以试一下溅射铟靶材,通入氮气,然后制备氮化铟薄膜,这样可能就是操作麻烦点,但是也是一种可行性方案~

谢谢啊。我是想做InGaN薄膜,目前有GaN靶材,想找个方式把In加进去。

发自小木虫IOS客户端
3楼2018-04-27 00:33:20
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by liuyulun1225 at 2018-04-27 00:33:20
谢谢啊。我是想做InGaN薄膜,目前有GaN靶材,想找个方式把In加进去。
...

那你可以采用共溅射的方式,溅射的时候在氮化镓靶材上面防止一些铟片,溅射一部分铟上去,这样也能打到目的;
或者是你设备允许的情况下,你可以用双靶共溅射的方式溅射,跟单质铟靶材一起使用
氮化铟靶材这个暂时用得很少,一般都是用金属单质靶材,你可以参考下
4楼2018-05-17 16:30:15
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接合成InGaN靶材再溅射
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
5楼2018-07-16 18:18:31
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个靶材不好做哦,你可以选择溅射铟靶材,通氮气使用
半圆形的靶材也可以做,不过要看你的具体要求,具体你可以描述详细要求之后再补充哦
6楼2018-08-31 15:57:43
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