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nfdsmct铜虫 (初入文坛)
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[求助]
求助用氢氟酸去除单晶硅表面的二氧化硅的问题
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| 各位虫友，我是在单晶硅上利用激光加工的时候发生了氧化，导致硅表面有二氧化硅存在，想把硅表面的二氧化硅去除掉，查资料好像氢氟酸可以将二氧化硅去除，但是也会与单晶硅反应，麻烦问下有没有人做过相似的研究，氢氟酸的浓度多少，反应多少时间，温度需要调控吗？希望学化学或者懂这个做过相关研究能给个帮助，非常感谢！ |
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2楼2018-05-29 10:12:37
3楼2019-10-26 15:47:27