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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 真空检漏
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

[求助] 真空检漏 已有3人参与

请问有什么简单的方法可以检测磁控溅射设备的漏气吗？

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1楼 2018-04-10 17:04:40
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huang117365

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般都是用氦检漏仪进行检漏，腔室抽到真空后，用氦检漏仪与腔室连接，氦检漏仪启动后，用氦气吹易发生泄漏的点，有漏的话检漏仪的示数会大幅度上升
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7楼2018-04-12 18:58:43
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
真空表装一个就可以了，看数据呀。
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2楼2018-04-10 23:05:53
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天行健08

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
专业的就是用检漏仪（氦气检漏）
现在是使用中感觉漏气吗？
简便的，可以涂抹一点酒精或者异丙醇在法兰接口，看看真空度是否有变化
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MEMS
3楼2018-04-11 09:00:31
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hitplam

铁杆木虫 (正式写手)
抽完极限真空，然后关闭抽气阀，看气压的变化，如果气压在单位时间内升的比较高德话，就有可能漏气。

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4楼2018-04-11 09:31:38
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