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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

[求助] 真空检漏 已有3人参与

请问有什么简单的方法可以检测磁控溅射设备的漏气吗?

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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
真空表装一个就可以了,看数据呀。
2楼2018-04-10 23:05:53
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天行健08

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
专业的就是用检漏仪(氦气检漏)
现在是使用中感觉漏气吗?
简便的,可以涂抹一点酒精或者异丙醇在法兰接口,看看真空度是否有变化
MEMS
3楼2018-04-11 09:00:31
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hitplam

铁杆木虫 (正式写手)

抽完极限真空,然后关闭抽气阀,看气压的变化,如果气压在单位时间内升的比较高德话,就有可能漏气。

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4楼2018-04-11 09:31:38
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

现在确定是漏气,但弄不清楚是在那个地方

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5楼2018-04-11 19:39:46
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 天行健08 at 2018-04-11 09:00:31
专业的就是用检漏仪(氦气检漏)
现在是使用中感觉漏气吗?
简便的,可以涂抹一点酒精或者异丙醇在法兰接口,看看真空度是否有变化

用酒精和丙酮试过,但没有试出来

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6楼2018-04-11 19:40:38
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huang117365

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般都是用氦检漏仪进行检漏,腔室抽到真空后,用氦检漏仪与腔室连接,氦检漏仪启动后,用氦气吹易发生泄漏的点,有漏的话检漏仪的示数会大幅度上升
7楼2018-04-12 18:58:43
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qbn0326

铁虫 (著名写手)

用丙酮喷,如果数据突变就是漏了

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8楼2018-04-20 23:46:24
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