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Ronny_chou

木虫 (正式写手)

应助: 43 (小学生)
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散金: 16
红花: 14
帖子: 485
在线: 313小时
虫号: 2537599
注册: 2013-07-08
专业: 分离过程

[求助] 七星流量控制器不稳的问题已有2人参与

我有两路气体，一路主气体，流量大概为2L/min，压力为20bar，另一路为杂质气体，流量15mL/min，压力24bar，两路都用七星华创流量控制器控制，现在问题是主路流量能够控制稳定，但是杂质气体流量老是控制不住，控制在某一个数值，然后几分钟后就会慢慢往下掉（PS：气源压力稳定），求各位大佬帮忙分析一下，谢谢

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1楼 2018-04-01 10:02:32

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hitplam

铁杆木虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
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虫号: 734460
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性别: GG
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

我这边先前也有出现大流量气体对小流量气体的影响，气体均采用流量计控制输入，大流量的输入比较稳定，小流量的气体输入波动较大。我不知道你两种气体是不是经过同一管道混合后输入，如果是的话就会有影响。建议可以采用混气管混合后输入；或者分开两路气体分别从不同位置输入罐体。我们现在这边做的是分开输入，就不会相互干扰。