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Ronny_chou木虫 (正式写手)
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[求助]
七星流量控制器不稳的问题已有2人参与
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| 我有两路气体，一路主气体，流量大概为2L/min，压力为20bar，另一路为杂质气体，流量15mL/min，压力24bar，两路都用七星华创流量控制器控制，现在问题是主路流量能够控制稳定，但是杂质气体流量老是控制不住，控制在某一个数值，然后几分钟后就会慢慢往下掉（PS：气源压力稳定），求各位大佬帮忙分析一下，谢谢 |
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hitplam
铁杆木虫 (正式写手)
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- 注册: 2009-03-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
10楼2018-04-18 10:25:45