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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】半导体材料的电阻温度变化问题
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lonqiao

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】半导体材料的电阻温度变化问题

我最近在测半导体薄膜的电阻温度曲线，但发现室温到120度左右，呈现随温度上升而下降的特性，但过了某个温度点后，高阻计显示的电阻值突然增大，且随温度上升而上升，背离半导体导电特性，不知何故？麻烦有经验的虫子解释一下。非常感谢。。。

[ Last edited by ufoer on 2009-3-18 at 01:01 ]
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1楼 2009-03-17 14:38:43
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lonqiao

新虫 (小有名气)
谢谢楼上的解释。现在发现薄膜在200度左右热处理后（真空和大气都一样），电阻都会增大几千倍（有些比云母这样的绝缘体还大，我的是半导体薄膜），但同样的样品，在真空和大气中退火400度，则无此现象，电阻一般没这么夸张。而且，现在的薄膜电阻温度曲线呈现先下降后上升再下降，几个周期后就一直往上升了（此时测阻温度逼近200度），直到超出量程（高阻计量程最大可达10的18次方），已经排除电极链接不良问题。

[ Last edited by lonqiao on 2009-3-19 at 13:04 ]
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8楼2009-03-19 12:59:20
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lonqiao

新虫 (小有名气)
应该不会，这个样品的退火XRD显示晶相基本不变。
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3楼2009-03-17 16:55:49
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xbwu2003

金虫 (初入文坛)
你的电阻温度曲线是在什么仪器上测试的，我现在也想做做这方面的测试
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4楼2009-03-17 20:09:45
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jackyzheng9986

铜虫 (小有名气)
或许是升温就发生相变 再降温又返回了了
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5楼2009-03-17 20:15:32
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