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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射沉积速率有什么靠谱的公式么？
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现实中人

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射沉积速率有什么靠谱的公式么？ 已有1人参与

跪求大佬指点，磁控溅射沉积速率有什么靠谱的公式么？

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逆水行舟，不进则退
1楼 2018-03-22 23:26:27
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个真没有统一的公式。
因为影响沉积速率的因素太多太多太多太多太多。。。

1. 不同的元素的溅射系数不一样，相同元素不同制靶工艺的溅射速率也不一样；
2. 不同的气氛，不同的气压，不同的气路分布；
3. 阴极设计的靶面场强，NS极分布，随着刻蚀深度加深的沉积速率影响；
4. 溅射电源类型，电源实际输出功率；
5. 工艺温度多少，靶基距的多少，阳极的位置....


额，更别提新兴技术及设计上面的小窍门啥的了。所以目前没有啥统一公式，只有不同材料理论上能达到的最高溅射沉积速率范围。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-03-23 12:04:31
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