24小时热门版块排行榜

返回列表

现实中人

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 541.9
散金: 25
红花: 4
帖子: 57
在线: 7.8小时
虫号: 3580216
注册: 2014-12-06
性别: GG
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

[求助] 磁控溅射沉积速率有什么靠谱的公式么？已有1人参与

跪求大佬指点，磁控溅射沉积速率有什么靠谱的公式么？

发自小木虫Android客户端

回复此楼

» 猜你喜欢

在职博后不能申请博后基金了，那么在职博后意义何在？已经有2人回复
MRS Communications 期刊啥时候有正式页码已经有1人回复
高分子科学论文润色/翻译怎么收费? 已经有125人回复
青岛大学化学化工学院分子测量学研究院2026年招收博士研究生已经有0人回复
香港科技大学（广州）诚招电催化方向博士生（2026秋入学）已经有0人回复
双一流高校南京林业大学材料学院招收2026年申请考核博士生已经有0人回复
国家双一流建设高校——2026南京林业大学化学工程学院招收申请考核博士生1名已经有0人回复
临港国家实验室与上科大联合培养博士2026招生一名已经有0人回复
想读985的博没有地域要求求推荐求收留一作SCI×4 已经有1人回复
求助Cu2+1O的CIF文件(PDF: 05-0667) 已经有1人回复

逆水行舟，不进则退

1楼 2018-03-22 23:26:27

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
金币: 1285
红花: 16
帖子: 317
在线: 374.5小时
虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

这个真没有统一的公式。
因为影响沉积速率的因素太多太多太多太多太多。。。

1. 不同的元素的溅射系数不一样，相同元素不同制靶工艺的溅射速率也不一样；
2. 不同的气氛，不同的气压，不同的气路分布；
3. 阴极设计的靶面场强，NS极分布，随着刻蚀深度加深的沉积速率影响；
4. 溅射电源类型，电源实际输出功率；
5. 工艺温度多少，靶基距的多少，阳极的位置....

额，更别提新兴技术及设计上面的小窍门啥的了。所以目前没有啥统一公式，只有不同材料理论上能达到的最高溅射沉积速率范围。

赞一下(1人)

回复此楼

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

2楼2018-03-23 12:04:31