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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » SnO薄膜的制备
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宋晓旭i

新虫 (初入文坛)

[交流] SnO薄膜的制备 已有3人参与

Cvd法可以制备SnO薄膜么？感觉基底上沉积的非常厚，而且很分散

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1楼 2018-03-14 11:59:21
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宋晓旭i

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光棍9527 at 2018-03-14 20:52:49
ALD设备可以成绩氧化锡薄膜，并且厚度精确可控至纳米级

ALD确实可以氧化锡薄膜，可是目前实验室拟通过使用PVD或CVD方式来制备

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5楼2018-03-27 09:26:14
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兴海小兴星

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问你尝试过别的方法制备氧化锡薄膜吗

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2楼2018-03-14 20:17:48
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光棍9527

新虫 (小有名气)
ALD

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3楼2018-03-14 20:52:03
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ALD设备可以成绩氧化锡薄膜，并且厚度精确可控至纳米级

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4楼2018-03-14 20:52:49
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