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宋晓旭i

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[交流] SnO薄膜的制备已有3人参与

Cvd法可以制备SnO薄膜么？感觉基底上沉积的非常厚，而且很分散

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1楼 2018-03-14 11:59:21

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兴海小兴星

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请问你尝试过别的方法制备氧化锡薄膜吗

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2楼2018-03-14 20:17:48

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光棍9527

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ALD

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3楼2018-03-14 20:52:03

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光棍9527

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ALD设备可以成绩氧化锡薄膜，并且厚度精确可控至纳米级

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4楼2018-03-14 20:52:49

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宋晓旭i

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引用回帖:

4楼: Originally posted by 光棍9527 at 2018-03-14 20:52:49
ALD设备可以成绩氧化锡薄膜，并且厚度精确可控至纳米级

ALD确实可以氧化锡薄膜，可是目前实验室拟通过使用PVD或CVD方式来制备

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5楼2018-03-27 09:26:14

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沫一

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春峰师兄知道

6楼2018-04-05 22:11:27

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