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sensing5668木虫 (小有名气)
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[交流]
[请教]如何计算磁控溅射等离子放电中，气体分子离化率分布
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磁控溅射中，活性气体分子被离化，如何计算或者估算这些各种离化分子或原子的分布和比例。 假设磁控溅射参数是已知的，电压，电流，气体压强，靶材-基片距离等 |
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