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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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sensing5668

木虫 (小有名气)

[交流] [请教]如何计算磁控溅射等离子放电中,气体分子离化率分布

磁控溅射中,活性气体分子被离化,如何计算或者估算这些各种离化分子或原子的分布和比例。
假设磁控溅射参数是已知的,电压,电流,气体压强,靶材-基片距离等
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元小雪

木虫 (职业作家)

Maxwell公布吧
无聊的博士
2楼2009-03-12 23:47:22
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sensing5668

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 元小雪 at 2009-3-12 23:47:
Maxwell公布吧

谢谢
Maxwell 分布?能不能详细点介绍一下
3楼2009-03-13 13:50:24
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