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小蓝8785

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】 薄膜做SEM制样的问题

要怎麽制样薄膜才不会被扫描的能量打出泡来

[ Last edited by wizardfox on 2009-3-12 at 16:30 ]
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豆青虫

金虫 (小有名气)

对于不导电的绝缘薄膜来说喷金是必须的,如果你要求的扫面倍数不大的话,可以选择不用高能电子束,可以避免损伤薄膜,应该不会打出泡来,SEM扫描的深度有限
真诚的和大家进行学术交流!
6楼2009-03-16 20:43:59
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yinmin9521

铁杆木虫 (著名写手)

不太懂,是不是放大倍数大对样品的破坏就大?
2楼2009-03-12 16:44:19
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yanjin_jia

木虫 (正式写手)

会吗?没碰到这情况,不是喷金的嘛
3楼2009-03-12 22:59:44
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njucaijun

银虫 (小有名气)

喷金可以减轻对膜的伤害,降低SEM的加速电压也可以使情况好一些,但高分子膜建议做AFM更好。
4楼2009-03-13 11:02:01
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