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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 测试表征 » 【求助】 薄膜做SEM制样的问题
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小蓝8785

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】 薄膜做SEM制样的问题

要怎麽制样薄膜才不会被扫描的能量打出泡来

[ Last edited by wizardfox on 2009-3-12 at 16:30 ]
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1楼 2009-03-12 15:28:59
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yinmin9521

铁杆木虫 (著名写手)
不太懂，是不是放大倍数大对样品的破坏就大？
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2楼2009-03-12 16:44:19
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yanjin_jia

木虫 (正式写手)
会吗？没碰到这情况，不是喷金的嘛
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3楼2009-03-12 22:59:44
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njucaijun

银虫 (小有名气)
喷金可以减轻对膜的伤害，降低SEM的加速电压也可以使情况好一些，但高分子膜建议做AFM更好。
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4楼2009-03-13 11:02:01
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小蓝8785

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by njucaijun at 2009-3-13 11:02:
喷金可以减轻对膜的伤害，降低SEM的加速电压也可以使情况好一些，但高分子膜建议做AFM更好。

膜没有完全除掉水分会不会造成打出泡来呢？
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5楼2009-03-16 11:17:12
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豆青虫

金虫 (小有名气)
对于不导电的绝缘薄膜来说喷金是必须的，如果你要求的扫面倍数不大的话，可以选择不用高能电子束，可以避免损伤薄膜，应该不会打出泡来，SEM扫描的深度有限
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真诚的和大家进行学术交流！
6楼2009-03-16 20:43:59
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xzlfzu

银虫 (小有名气)
恩 可以考虑做AFM
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7楼2009-03-17 11:24:52
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rencheng

金虫 (小有名气)
和水没关系，是高能电子束打坏的。放大超过7000倍通常都会打出泡来，把电子束从20KV调到10稍微有点帮助，不过也很难超过1W倍。
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8楼2009-03-17 13:01:34
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xcl308

金虫 (正式写手)
我的实验也遇到相同的结果，电子束破坏了样品，发现样品表面都融化了
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9楼2009-03-24 17:01:53
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