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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 氮化硅腐蚀（想看一下晶粒）
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杨必果

新虫 (小有名气)

[求助] 氮化硅腐蚀（想看一下晶粒） 已有2人参与

有人做过氮化硅腐蚀吗？用的是哪种腐蚀介质，腐蚀多久？我用熔融的氢氧化钠腐蚀过，效果不理想 谢啦
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种瓜得瓜，种豆得豆
1楼 2018-03-04 20:56:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
180°C的磷酸可以腐蚀氮化硅，你可以试试
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

杨必果
2楼2018-03-06 12:54:36
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杨必果

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2018-03-06 07:54:36
180°C的磷酸可以腐蚀氮化硅，你可以试试

谢谢啦，我试试
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种瓜得瓜，种豆得豆
3楼2018-03-07 09:40:43
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Jason

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

plasma eching  等离子刻蚀
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Jason
4楼2018-04-12 13:27:25
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Chempurity

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2019-08-07 09:40:33
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