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杨必果

新虫 (小有名气)

[求助] 氮化硅腐蚀(想看一下晶粒) 已有2人参与

有人做过氮化硅腐蚀吗?用的是哪种腐蚀介质,腐蚀多久?我用熔融的氢氧化钠腐蚀过,效果不理想 谢啦
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种瓜得瓜,种豆得豆
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
180°C的磷酸可以腐蚀氮化硅,你可以试试

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2018-03-06 12:54:36
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杨必果

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2018-03-06 07:54:36
180°C的磷酸可以腐蚀氮化硅,你可以试试

谢谢啦,我试试
种瓜得瓜,种豆得豆
3楼2018-03-07 09:40:43
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Jason

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

plasma eching  等离子刻蚀
Jason
4楼2018-04-12 13:27:25
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Chempurity

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2019-08-07 09:40:33
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