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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 有做过氟化钙磁控溅射镀膜的吗？一起交流下
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xia_longfei

银虫 (小有名气)

[交流] 有做过氟化钙磁控溅射镀膜的吗？一起交流下已有1人参与

我遇到点问题，镀完的氟化钙膜系呈灰黑色，这是怎么回事？氧化了？

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1楼2018-03-03 17:23:03
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xia_longfei

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-05 12:24:05
氟化物溅射一般原子比很难控制

有没有什么辅助方法可以改善这种情况？比如往腔内通氟气

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3楼2018-03-06 12:11:41
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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氟化物溅射一般原子比很难控制
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-03-05 12:24:05
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by xia_longfei at 2018-03-06 05:11:41
有没有什么辅助方法可以改善这种情况？比如往腔内通氟气
...

这一直是一个课题的：如何采用磁控溅射得到正确计量比的氟化物薄膜，一般总会混进多余的氧，造成nk变化。

你想通氟气，这个当然是想想的，氟气一是剧毒，而是腐蚀性极强，对设备仪器的腐蚀不可想象。

所以要求严苛的基本都是真空蒸发来做。个人经验，仅供参考
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-03-07 16:47:46
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xia_longfei

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-07 16:47:46
这一直是一个课题的：如何采用磁控溅射得到正确计量比的氟化物薄膜，一般总会混进多余的氧，造成nk变化。

你想通氟气，这个当然是想想的，氟气一是剧毒，而是腐蚀性极强，对设备仪器的腐蚀不可想象。

所以要 ...

氟化钙容易受热分解，而真空蒸发镀会产生高温，那么这种情况不是也会造成膜层不纯净吗

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5楼2018-03-08 10:41:18
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