[交流] 有做过氟化钙磁控溅射镀膜的吗？一起交流下已有1人参与

2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-05 12:24:05
氟化物溅射一般原子比很难控制

3楼: Originally posted by xia_longfei at 2018-03-06 05:11:41
有没有什么辅助方法可以改善这种情况？比如往腔内通氟气
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4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-07 16:47:46
这一直是一个课题的：如何采用磁控溅射得到正确计量比的氟化物薄膜，一般总会混进多余的氧，造成nk变化。

你想通氟气，这个当然是想想的，氟气一是剧毒，而是腐蚀性极强，对设备仪器的腐蚀不可想象。

所以要 ...

5楼: Originally posted by xia_longfei at 2018-03-08 03:41:18
氟化钙容易受热分解，而真空蒸发镀会产生高温，那么这种情况不是也会造成膜层不纯净吗
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6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-03-08 11:20:45
CaF2的性能我不是很清楚，我是按照MgF2的特性类比的，抱歉...