| 查看: 3979 | 回复: 7 | |||
[交流]
光刻胶AZ 5214E图形反转如何实现的？
|
|||
|
各位大侠： 小女子刚刚从事新的领域，芯片加工的光刻工艺。对于AZ5214E光刻胶的最大用途甚是迷惑： 1，如果只是为了实现图形的反转，为何不直接用其他负胶呢？而且直接实现倒台面，易于剥离。； 2，使用AZ5214E第一次曝光后，有图形部分发生分解反应，经过反转烘+泛曝光后，这部分图形有什么变化？发生交联反应的只是那些第一次没有曝光的区域吗？ 3，恳请哪位大侠能够画幅简图，做个解释，不胜感激啊！ 小青在此拜谢啦！  |
回复此楼» 猜你喜欢
关于如何从代码看上不上会
已经有20人回复
-
chemdraw
已经有4人回复
-
大龄残疾硕士的一点执念
已经有24人回复
-
祈祷青基必中
已经有10人回复
-
b口会评
已经有6人回复
-
信息学部会评时间
已经有3人回复
-
在职考研
已经有7人回复
-
MSER送审了还被拒稿
已经有5人回复
-
硝基还原
已经有5人回复
-
化学口会评？应用基础研究和基础研究，希望能分开
已经有3人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
90年 河北 回族女生 在京 诚征男友
+1/618
-
化学所分子识别实验室公开招聘项目聘用人员
+1/77
-
在深圳的河南人，男找女
+1/62
-
祈祷面上基金能中
+1/31
-
上海交通大学化工学院邱惠斌教授课题组招募科研助理、交流生
+1/31
-
985高校北京理工大学珠海校区高效催化与能源转化团队招收推免生，长期有效
+1/27
-
干细胞毒理学研究组招收2027年硕博
+1/13
-
澳大利亚昆士兰大学（UQ）】全奖PhD招生：碳捕集与液流电池储能方向
+1/10
-
武汉理工大学刘鹏飞院士团队招聘科研助理
+1/10
-
2氯5甲基吡啶和2氯6三氯甲基吡啶大生产工艺需求
+1/6
-
吉布斯自用能变、平衡常数、活度/分压计算
+1/4
-
力学研究所某专项团队支撑岗位和特别研究助理岗位招聘启事
+1/4
-
EI 会议持续收稿，全科接收，检索稳定
+1/3
-
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后（2名）
+1/3
-
北师大（珠海）环境辐射与健康方向招聘博士后启事
+1/3
-
武汉理工大学刘鹏飞院士团队招聘科研助理
+1/3
-
力学研究所某专项团队支撑岗位和特别研究助理岗位招聘启事(长期有效)
+1/2
-
上市公司招聘固废裂解处理博士与人工智能博士，可接受应届，需入站
+1/2
-
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后（2名）
+1/1
-
MPCVD工艺提质关键：钯膜超纯氢气纯化方案
+1/1
3楼2018-02-11 11:14:42
6楼2018-02-11 11:30:36
7楼2018-02-11 11:41:45
8楼2018-04-23 14:10:46
简单回复
2018-02-11 11:02
回复
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
2018-02-11 11:16
回复
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
cjpb7285楼
2018-02-11 11:23
回复
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与