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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请问像氮化硅这种不导电的材料
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科研之塔

新虫 (小有名气)

[交流] 请问像氮化硅这种不导电的材料 已有5人参与

想镀百纳米的膜，有没有什么比较快的方法。磁控溅射射频法的话时间太长了，得三个小时，而且时间长了可能会伤设备

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1楼 2018-01-31 18:00:18
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科研之塔

新虫 (小有名气)
我们的PECVD设备只能长二维材料

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2楼2018-01-31 18:00:49
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daweidejob

新虫 (初入文坛)
★
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你镀膜的功用是什么？用中频磁控溅射Si加氮气很快，不知道性能能满足不

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3楼2018-01-31 18:31:14
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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4楼2018-01-31 21:17:21
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
5楼2018-01-31 21:17:35
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
硅靶中频或直流脉冲反应溅射，控制充氮气的比例，有个金属过渡态，沉积速率快而且膜性能好。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-02-01 10:35:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
PECVD很快
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7楼2018-02-01 13:04:15
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df1990

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不会啊，我们的设备2分钟10纳米，是是不是你的磁场强度太弱了
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生命是一场无限的蜕变
8楼2018-02-02 10:50:10
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