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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于Al悬空桥的制备方法
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Frank_lin

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于Al悬空桥的制备方法 已有2人参与

大家好，我想问一下如果我想制备一个Al的悬空桥，尺寸在5um*15um，有没有什么比较推荐的方法，现在已知的方法有：将胶烘烤成圆柱形，再镀Al，去胶；在Al下面先镀SiO2，然后使用VHF去除SiO2。谢谢
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1楼 2018-01-30 16:59:19
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心如

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
哎 我的思维被限制了！！！

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2楼2018-01-30 23:21:29
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xiaolongno1

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你这两个方法都不简单

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3楼2018-01-31 08:24:05
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