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关于Al悬空桥的制备方法 已有2人参与
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| 大家好，我想问一下如果我想制备一个Al的悬空桥，尺寸在5um*15um，有没有什么比较推荐的方法，现在已知的方法有：将胶烘烤成圆柱形，再镀Al，去胶；在Al下面先镀SiO2，然后使用VHF去除SiO2。谢谢 |
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xiaolongno1
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3楼2018-01-31 08:24:05
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