| 查看: 413 | 回复: 2 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[交流]
关于Al悬空桥的制备方法已有2人参与
|
||
| 大家好，我想问一下如果我想制备一个Al的悬空桥，尺寸在5um*15um，有没有什么比较推荐的方法，现在已知的方法有：将胶烘烤成圆柱形，再镀Al，去胶；在Al下面先镀SiO2，然后使用VHF去除SiO2。谢谢 |
回复此楼
xiaolongno1
新虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 923.4
- 帖子: 140
- 在线: 19.2小时
- 虫号: 1309173
- 注册: 2011-05-28
- 专业: 光子与光电子器件
3楼2018-01-31 08:24:05
2楼2018-01-30 23:21:29