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UMCGF

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻工艺相关 已有1人参与

请教一下，一般评判一个工艺里面的DOF能力有多少nm，都有个说法，在DOF@5%EL时为多少多少nm。那么，这个5%EL是啥意思呢？

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1楼 2018-01-29 14:32:50
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s小木点

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
加5%乳酸乙酯稀释？
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海上按摩师
2楼2018-03-10 14:47:58
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s小木点

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
EL应该是该处线宽-曝光剂量的斜率
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海上按摩师
3楼2018-03-14 11:12:47
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