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光刻工艺相关 已有1人参与
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请教一下，一般评判一个工艺里面的DOF能力有多少nm，都有个说法，在DOF@5%EL时为多少多少nm。那么，这个5%EL是啥意思呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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