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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 其他 » 磁控溅射设备的直流靶所承受的最大功率怎么算？
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
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磁控溅射设备的直流靶所承受的最大功率怎么算？
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1楼 2018-01-28 22:06:54
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
主要考量的就是靶的冷却是否足够。
不同的溅射材料，不同的阴极设计，所能承受的功率密度不一样。
比如陶瓷或者Si靶一般5-8W/cm2
如果是金属靶可以达到20W/cm2，直接冷却设计的话有可能达到40W/cm2。当然前提是你的阴极设计足够合理。
以上。
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15楼2018-01-29 09:50:00
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hzk2zd2楼
2018-01-28 22:07   回复  
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w584040033楼
2018-01-28 22:08   回复  
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碧波听雨4楼
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renwu665楼
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ulysessweb6楼
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钱谦7楼
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qili08018楼
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star199111289楼
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ai-potato10楼
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hbabc11楼
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dongmings12楼
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guoyufei8613楼
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zhumingguo14楼
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