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磁控溅射设备的直流靶所承受的最大功率怎么算?
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
主要考量的就是靶的冷却是否足够。
不同的溅射材料,不同的阴极设计,所能承受的功率密度不一样。
比如陶瓷或者Si靶一般5-8W/cm2
如果是金属靶可以达到20W/cm2,直接冷却设计的话有可能达到40W/cm2。当然前提是你的阴极设计足够合理。
以上。
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15楼
2018-01-29 09:50:00
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hzk2zd
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2018-01-28 22:07
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w58404003
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碧波听雨
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renwu66
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ulysessweb
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钱谦
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qili0801
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star19911128
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ai-potato
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hbabc
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dongmings
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