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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助一种测试薄膜成分准确度高的仪器及方法
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抹茶奶昔

至尊木虫 (正式写手)

An Atypical Engineering Doc

[求助] 求助一种测试薄膜成分准确度高的仪器及方法 已有1人参与

如题，小生正在做的材料靶材和薄膜成分偏离有点大，想测试具体的薄膜成分是多少，一种国外参考的方法是洗去薄膜，用ICPAES来测试成分，但是我们单位没这个仪器。 因此，我想询问一下：
1. 准确度高的成分测试仪器与方法；
2. 如果是使用ICPAES，国内哪家院校可以做，准确度如何，需要做什么准备。

如果有好的方法请不吝赐教，可追加悬赏。能提供仪器的院校，欢迎科研合作，多谢多谢。
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Magnetic alloys and films; Spin caloritronics; Ferroics.
1楼 2018-01-16 11:53:28
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花不溜秋

新虫 (正式写手)
xrd可以测薄膜

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2楼2018-01-16 13:30:27
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
抹茶奶昔: 金币+6, ★★★很有帮助 2018-01-17 08:40:39
一般ICP-AES的测试精度即可满足要求了。这种仪器现在不算重大的仪器了，很多研究组里可能就会有。在北京的话，钢铁研究总院和有色研究总院都可以对外测试。
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3楼2018-01-16 16:55:12
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抹茶奶昔

至尊木虫 (正式写手)

An Atypical Engineering Doc
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2018-01-16 16:55:12
一般ICP-AES的测试精度即可满足要求了。这种仪器现在不算重大的仪器了，很多研究组里可能就会有。在北京的话，钢铁研究总院和有色研究总院都可以对外测试。

好的，谢谢您，我现在在西安，我校有原子吸收但是配的不是AES，分析测试中心负责老师说原子吸收测试薄膜的准确度只能达到1-5%，我需要至少能达到1%的仪器，再一个问题是如何从基底上吸去固定质量的薄膜，用NaCl单晶基片么还是其他方法....

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Magnetic alloys and films; Spin caloritronics; Ferroics.
4楼2018-01-17 08:31:22
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抹茶奶昔

至尊木虫 (正式写手)

An Atypical Engineering Doc
引用回帖:
2楼: Originally posted by 花不溜秋 at 2018-01-16 13:30:27
xrd可以测薄膜

应该是不可以的吧...XRD做结构分析还可以，成分分析很不准确，XRF的准确度也只是尚可。

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Magnetic alloys and films; Spin caloritronics; Ferroics.
5楼2018-01-17 08:32:58
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by 抹茶奶昔 at 2018-01-17 08:31:22
好的，谢谢您，我现在在西安，我校有原子吸收但是配的不是AES，分析测试中心负责老师说原子吸收测试薄膜的准确度只能达到1-5%，我需要至少能达到1%的仪器，再一个问题是如何从基底上吸去固定质量的薄膜，用NaCl单晶 ...

百分之一的精度的话XRF也是完全可以达到这个精度的。
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6楼2018-01-17 08:35:50
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抹茶奶昔

至尊木虫 (正式写手)

An Atypical Engineering Doc
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2018-01-17 08:35:50
百分之一的精度的话XRF也是完全可以达到这个精度的。...

我的意思是某个元素成分的1%，折合下来大概是整体元素的0.3%以下，考虑用过xps，效果一般..具体的ICP如何操作也尚不得知.....

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Magnetic alloys and films; Spin caloritronics; Ferroics.
7楼2018-01-17 08:39:10
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