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1楼2018-01-14 08:22:30

白天不懂黑夜

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会不会是你这材料本身就特别容易被氧化，要不你试试高真空环境看看？

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5楼2018-01-15 14:59:23

查看全部 21 个回答

zhangjinlai

银虫 (文坛精英)

气相沉积cvd炉 13013550138 张

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【答案】应助回帖

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首先保证管式炉两端的密封。一端作为进气口，一端作为排气口。排气口可以接个软管做排气管，排气管末端放到水里（随便找个烧杯装上水就可以）进气端链接高纯氮气钢瓶，通气，烧杯冒气泡，过上一个小时在升温，升温过程中可找点肥皂水，检测链接部位是否漏气，如果再氧化就是活见鬼。

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合肥小子

2楼2018-01-14 11:24:04

合肥小子

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2楼: Originally posted by zhangjinlai at 2018-01-14 11:24:04
首先保证管式炉两端的密封。一端作为进气口，一端作为排气口。排气口可以接个软管做排气管，排气管末端放到水里（随便找个烧杯装上水就可以）进气端链接高纯氮气钢瓶，通气，烧杯冒气泡，过上一个小时在升温，升温过 ...

您好，感谢您的回复！
我之前有做过石英管饱压测试，抽完真空第二天去看，压力没有变，说明管子以及法兰是不漏气的。
氮气分压阀的捡漏，我是在玩上开总阀，分压阀给他打到0.2Mpa，第二天来，下降一个指针的宽度都没有，应该也不影响！
做实验前，我都抽了6次真空，有通了2h的氮气，最后才加热的，加热期间氮气流量是100mlmin，加热过程中我的出气口法兰旋钮是半开的，靠进气口法兰调节，最后还是被氧化了，今天我就按照上面说的这样做，还是不行！
检漏液我之前也检查过，无气泡，如果是极微量漏气，检漏液检查不出来

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3楼2018-01-14 20:46:57

leinian888

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4楼2018-01-15 14:14:03