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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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polaris953

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】关于椭偏仪

想请教一下各位,SiC衬底上长的SiO2膜,用椭偏仪测得话最薄可以测多厚的膜?2nm以下的能测吗?测出来的误差大不大?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-3-13 at 22:09 ]
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椭偏测量

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stardom427

木虫 (著名写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢应助:) 3-4 21:01
10nm以下基本就没有办法测了....
一般很薄的膜要先预定设置厚度然后再测....
这样误差也很大....

2nm以下基本就没有办法测的...
2楼2009-03-04 10:35:22
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polaris953

金虫 (小有名气)

谢谢指导啊
3楼2009-03-07 19:22:20
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lhxdd

木虫 (正式写手)

哪里有椭偏仪测试,北京有吗,比较便宜一些的
4楼2009-03-07 19:33:00
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