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polaris953金虫 (小有名气)
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【请教】关于椭偏仪
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想请教一下各位，SiC衬底上长的SiO2膜，用椭偏仪测得话最薄可以测多厚的膜？2nm以下的能测吗？测出来的误差大不大？ [ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-3-13 at 22:09 ] |
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 椭偏测量 |
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