24小时热门版块排行榜    

查看: 2205  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射真空检漏 已有2人参与

各位前辈,我现在做的是多靶磁控溅射,最近出现在镀膜时,真空室门口的那块靶附近会变蓝或者暗黄色(靶材是Cr靶),其他的靶附近都是正常颜色,是不是说那块靶附近漏气了,真空每天关了分子泵以后大概是10-3量级,第二天早上开机就到几十帕了,要怎么检漏呢

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (小有名气)

本帖仅楼主可见
6楼2018-01-14 08:20:12
已阅   申请MM-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页
查看全部 12 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Cr膜变蓝,应该是生成了氧化或氮化物。首先你设备的极限真空是多少?现在的数值和它之间有多大的差距,你可以判断一下。
几pa也算不上多大的漏。
检漏最专业最精确的当然是检漏仪。粗检你可以用IPA或者酒精,在高真空情况下,将怀疑的漏点从下到上喷洒,观察真空变化。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2018-01-12 16:48:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

极限真空大概到-5级别了,不过一般用不到那么级别,第二天直接漏到了几十帕了呢,只有那一块靶附近有这种现象是不是可以说漏气主要出在那附近呢,用酒精捡了几次,真空度都没有变化的

发自小木虫Android客户端
3楼2018-01-12 18:13:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

GXFGMB

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氦质普检漏仪检测

发自小木虫Android客户端
4楼2018-01-12 19:02:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +10 Tide man 2026-08-11 10/500 2026-08-12 20:59 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 不应该看fileCode +5 且听虎啸 2026-08-12 6/300 2026-08-12 16:26 by Tide man
[基金申请] FileCode能看出啥? +8 要乐观耀哥 2026-08-10 21/1050 2026-08-12 16:08 by 云上清扬
[基金申请] filecode +13 documentary 2026-08-10 15/750 2026-08-12 15:56 by 云上清扬
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
信息提示
请填处理意见