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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射真空检漏已有2人参与

各位前辈,我现在做的是多靶磁控溅射,最近出现在镀膜时,真空室门口的那块靶附近会变蓝或者暗黄色(靶材是Cr靶),其他的靶附近都是正常颜色,是不是说那块靶附近漏气了,真空每天关了分子泵以后大概是10-3量级,第二天早上开机就到几十帕了,要怎么检漏呢

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GXFGMB

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氦质普检漏仪检测

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4楼2018-01-12 19:02:36
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Cr膜变蓝,应该是生成了氧化或氮化物。首先你设备的极限真空是多少?现在的数值和它之间有多大的差距,你可以判断一下。
几pa也算不上多大的漏。
检漏最专业最精确的当然是检漏仪。粗检你可以用IPA或者酒精,在高真空情况下,将怀疑的漏点从下到上喷洒,观察真空变化。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2018-01-12 16:48:39
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

极限真空大概到-5级别了,不过一般用不到那么级别,第二天直接漏到了几十帕了呢,只有那一块靶附近有这种现象是不是可以说漏气主要出在那附近呢,用酒精捡了几次,真空度都没有变化的

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3楼2018-01-12 18:13:26
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匿名

用户注销 (小有名气)

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5楼2018-01-14 08:14:36
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