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tzsigouzzz新虫 (小有名气)
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磁控溅射真空检漏 已有2人参与
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各位前辈，我现在做的是多靶磁控溅射，最近出现在镀膜时，真空室门口的那块靶附近会变蓝或者暗黄色（靶材是Cr靶），其他的靶附近都是正常颜色，是不是说那块靶附近漏气了，真空每天关了分子泵以后大概是10-3量级，第二天早上开机就到几十帕了，要怎么检漏呢 发自小木虫Android客户端 |
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匿名
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5楼2018-01-14 08:14:36
2楼2018-01-12 16:48:39
tzsigouzzz
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极限真空大概到-5级别了，不过一般用不到那么级别，第二天直接漏到了几十帕了呢，只有那一块靶附近有这种现象是不是可以说漏气主要出在那附近呢，用酒精捡了几次，真空度都没有变化的 发自小木虫Android客户端 |
3楼2018-01-12 18:13:26
GXFGMB
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