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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 有没有可以耐300℃温度的光刻胶？
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huan_f

金虫 (小有名气)

[求助] 有没有可以耐300℃温度的光刻胶？

利用磁控溅射制备薄膜，为了使边界更清晰，想寻找一种耐高温（300℃）的光刻胶，请问有没有？另外想问一下各位虫友，如采用金属掩膜，一般选用什么材料的较好？
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
1楼 2018-01-11 10:38:22
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huan_f

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 天行健08 at 2018-01-24 10:17:19
光刻用的掩模版和磁控溅射用的金属掩模版不一样的
磁控溅射用的金属掩模版一般是不锈钢或其他金属
光刻用的掩模版有苏打玻璃、石英玻璃

耐300℃高温的光刻胶那就要问卖光刻胶的机构了，网上搜光刻胶能查到一些 ...

谢谢！
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
5楼2018-01-29 09:37:00
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
没听过，不都是金属板掩膜么，围观大神
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-01-11 12:20:26
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huan_f

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-01-11 12:20:26
没听过，不都是金属板掩膜么，围观大神

你好  你们是用的什么金属掩膜？厚度多厚 有固定（夹持）装置吗（基片与掩膜固定的装置）？  从哪购买的？
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
3楼2018-01-12 08:58:34
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天行健08

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
huan_f: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2018-01-29 09:37:15
光刻用的掩模版和磁控溅射用的金属掩模版不一样的
磁控溅射用的金属掩模版一般是不锈钢或其他金属
光刻用的掩模版有苏打玻璃、石英玻璃

耐300℃高温的光刻胶那就要问卖光刻胶的机构了，网上搜光刻胶能查到一些公司，比如研材微纳、锐材半导体、苏州瑞红、潍坊星泰克

这些是我之前因为工作需要查过的资料，也不知是不是完全正确
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MEMS
4楼2018-01-24 10:17:19
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