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新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 匀胶旋涂已有2人参与

有大神知道怎么能用匀胶机旋涂出覆盖率高，又均匀的膜吗？谢谢！

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1楼 2018-01-05 21:08:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

红薯1995

新虫 (初入文坛)

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专业: 高分子物理与高分子物理化

引用回帖:

3楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-01-22 11:35:15
你这个问题问的就不完整。
首先匀胶需要三样东西，匀胶机，基地（或衬底），膜液。
其中衬底的尺寸，形状，膜液的类型，浓度，匀胶的方式等都对匀胶的效果有影响。
因此你如果咨询，应该列出上述信息大家才好给建 ...

我想问一下，聚丁烯-1匀胶机涂膜用什么溶剂溶解，匀胶机的转速调到什么速度，溶液温度多少，谢谢