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abc豆豆abc

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 33
帖子: 1
在线: 10分钟
虫号: 7729563
注册: 2018-01-05
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 匀胶旋涂已有2人参与

有大神知道怎么能用匀胶机旋涂出覆盖率高，又均匀的膜吗？谢谢！

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1楼 2018-01-05 21:08:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

tomasking

木虫 (正式写手)

菜鸟

应助: 0 (幼儿园)
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散金: 67
帖子: 675
在线: 184.9小时
虫号: 1004036
注册: 2010-04-23
性别: GG
专业: 有机合成

引用回帖:

3楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-01-22 11:35:15
你这个问题问的就不完整。
首先匀胶需要三样东西，匀胶机，基地（或衬底），膜液。
其中衬底的尺寸，形状，膜液的类型，浓度，匀胶的方式等都对匀胶的效果有影响。
因此你如果咨询，应该列出上述信息大家才好给建 ...

请问下，2cm的Si基，膜液为0.02M醋酸锌乙醇，转速一般怎么设置比较好