| 查看: 2024 | 回复: 4 | ||
magnoliadou新虫 (小有名气)
|
[求助]
az4620 15um的参数选择? 已有2人参与
|
|
用az4620光刻做15um厚的图案 各项参数怎么抓?目前是用3.5ml的该正光阻1500rpm旋涂40s 前烘95度10分钟 曝光40s时显影无法全部显掉 105s时拿出来发现硅片上出现了斑斑点点的裸露出硅片基底的地方 显影时用硅片夹在表面轻轻一划划掉光刻胶 这是怎么回事呢？ 上面这几个参数到底应该怎么抓? 1.旋涂需要倒多少az4620? 2.旋涂速度与时间 3.前烘温度与时间 4.曝光时间!!!这个是最大问题 想请教大家这几个参数的选择~ 谢谢各位~ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有20人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有231人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有1人回复
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2018-01-05 21:36:05
jj503185037 
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 974.6
- 散金: 61
- 红花: 1
- 帖子: 190
- 在线: 28.3小时
- 虫号: 2167161
- 注册: 2012-12-05
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2018-02-08 09:25:18
4楼2018-05-08 14:54:24
1033347793
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 735.4
- 散金: 26
- 帖子: 136
- 在线: 25.6小时
- 虫号: 5822072
- 注册: 2017-03-03
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2021-07-03 09:52:41
