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az4620 15um的参数选择? 已有2人参与
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用az4620光刻做15um厚的图案 各项参数怎么抓?目前是用3.5ml的该正光阻1500rpm旋涂40s 前烘95度10分钟 曝光40s时显影无法全部显掉 105s时拿出来发现硅片上出现了斑斑点点的裸露出硅片基底的地方 显影时用硅片夹在表面轻轻一划划掉光刻胶 这是怎么回事呢？ 上面这几个参数到底应该怎么抓? 1.旋涂需要倒多少az4620? 2.旋涂速度与时间 3.前烘温度与时间 4.曝光时间!!!这个是最大问题 想请教大家这几个参数的选择~ 谢谢各位~ 发自小木虫Android客户端 |
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