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磁控溅射氧化镍 已有1人参与
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| 请教各位虫友一个问题： 射频电源进行反应磁控溅射100W ,Ni靶，在si基底生成氧化镍，20分钟就生成了15nm, 是否正常？ |
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5楼2018-01-31 11:07:20
amitabha4824
铁虫 (小有名气)
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- 帖子: 95
- 在线: 5.2小时
- 虫号: 4043070
- 注册: 2015-08-29
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2017-12-26 22:28:48
3楼2017-12-27 10:26:23
4楼2018-01-31 11:07:00