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lyd186568

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吾本一闲人

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[求助] 硅酸盐玻璃表面刻蚀出现微裂纹

无机硅酸盐玻璃用HF/H2SO4(10%HF,2.5%H2SO4)混合酸进行刻蚀,表面能得到希望出现的微结构,但是表面也出现了很多微裂纹,请问有谁知道问题出在哪吗?请不吝赐教,谢谢!

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MEMSlee

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3楼2017-12-24 23:26:12
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lyd186568

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吾本一闲人

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2楼2017-12-24 22:55:15
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lyd186568

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吾本一闲人

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引用回帖:
3楼: Originally posted by MEMSlee at 2017-12-24 23:26:12
你用什么做掩膜的

掩膜?刚刚接触这个,好像没有用这个吧

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4楼2017-12-24 23:45:03
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lyd186568

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吾本一闲人

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引用回帖:
3楼: Originally posted by MEMSlee at 2017-12-24 23:26:12
你用什么做掩膜的

请问对于这种问题,可能是什么原因呢?

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5楼2017-12-24 23:45:36
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