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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 玻璃材料 » 硅酸盐玻璃表面刻蚀出现微裂纹
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lyd186568

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吾本一闲人

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[求助] 硅酸盐玻璃表面刻蚀出现微裂纹

无机硅酸盐玻璃用HF/H2SO4（10%HF，2.5%H2SO4）混合酸进行刻蚀，表面能得到希望出现的微结构，但是表面也出现了很多微裂纹，请问有谁知道问题出在哪吗？请不吝赐教，谢谢！

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1楼 2017-12-24 22:41:44
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lyd186568

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吾本一闲人

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2楼2017-12-24 22:55:15
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
你用什么做掩膜的

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3楼2017-12-24 23:26:12
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lyd186568

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引用回帖:
3楼: Originally posted by MEMSlee at 2017-12-24 23:26:12
你用什么做掩膜的

掩膜？刚刚接触这个，好像没有用这个吧

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4楼2017-12-24 23:45:03
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lyd186568

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引用回帖:
3楼: Originally posted by MEMSlee at 2017-12-24 23:26:12
你用什么做掩膜的

请问对于这种问题，可能是什么原因呢？

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5楼2017-12-24 23:45:36
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lyd186568

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已找到原因，谢谢大家！

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6楼2018-06-08 14:49:19
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