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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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黑夜精灵

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】硅模板表面的保护层怎么洗掉呢?

我们买了一批作微米图案用的硅模板,他们表面上有一层切割时保护的保护层,protective lacquer,德文叫Schutzlack.我用丙酮洗过后,有少量微量残留.后来又分别用浓硫酸和热的Piranha洗,还是有残留,以及用O2 plasma处理.请教一下有没有什么办法可以把这些东西洗掉.

[ Last edited by caosw2001 on 2009-2-28 at 10:36 ]
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不断前行
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memser

★ ★
黑夜精灵(金币+1,VIP+0):xiexie 3-2 06:07
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^ 3-2 08:01
既然能用丙酮去掉,可能是有机物,自己得确认残留物不是你丙酮去后没有冲洗挥发导致残留物,或者是丙酮去掉后没有及时用水冲洗/酒精泡后清洗。那可以再用异丙醇或者有机去胶液试试。慎用等离子打,容易碳化等现象,如果那个打后没有去掉话,再用其它办法就可能很难去掉了。
4楼2009-03-02 00:19:17
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪


黑夜精灵(金币+1,VIP+0):xiexie 3-2 06:07
用少量的HF洗下了
有爱才有希望!
3楼2009-03-01 20:21:49
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