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黑夜精灵至尊木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】硅模板表面的保护层怎么洗掉呢？
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我们买了一批作微米图案用的硅模板，他们表面上有一层切割时保护的保护层，protective lacquer，德文叫Schutzlack.我用丙酮洗过后，有少量微量残留．后来又分别用浓硫酸和热的Piranha洗，还是有残留，以及用Ｏ２ ｐｌａｓｍａ处理．请教一下有没有什么办法可以把这些东西洗掉． [ Last edited by caosw2001 on 2009-2-28 at 10:36 ] |
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