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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】硅模板表面的保护层怎么洗掉呢？
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黑夜精灵

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】硅模板表面的保护层怎么洗掉呢？

我们买了一批作微米图案用的硅模板，他们表面上有一层切割时保护的保护层，protective lacquer，德文叫Schutzlack.我用丙酮洗过后，有少量微量残留．后来又分别用浓硫酸和热的Piranha洗，还是有残留，以及用Ｏ２　ｐｌａｓｍａ处理．请教一下有没有什么办法可以把这些东西洗掉．

[ Last edited by caosw2001 on 2009-2-28 at 10:36 ]
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不断前行
1楼 2009-02-27 21:43:15
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guoguo1829

金虫 (小有名气)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):欢迎参与讨论^_^ 3-1 12:58
等离子
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人不是鱼，怎会了解鱼的忧愁。鱼不是鸟，怎会了解鸟的快乐。鸟不是人，怎会了解人的荒唐。你不是我，怎会了解我。
2楼2009-03-01 10:39:47
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪
★
黑夜精灵(金币+1,VIP+0):xiexie 3-2 06:07
用少量的HF洗下了
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有爱才有希望！
3楼2009-03-01 20:21:49
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memser

★ ★
黑夜精灵(金币+1,VIP+0):xiexie 3-2 06:07
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^ 3-2 08:01
既然能用丙酮去掉，可能是有机物，自己得确认残留物不是你丙酮去后没有冲洗挥发导致残留物，或者是丙酮去掉后没有及时用水冲洗/酒精泡后清洗。那可以再用异丙醇或者有机去胶液试试。慎用等离子打，容易碳化等现象，如果那个打后没有去掉话，再用其它办法就可能很难去掉了。
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4楼2009-03-02 00:19:17
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kqp1982

木虫 (著名写手)
用己烷清洗吧
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5楼2009-03-02 11:21:15
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