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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 催化 » 表征 » 请教XPS测试中氩离子刻蚀的深度？
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纳米虫虫

木虫 (正式写手)

[交流] 请教XPS测试中氩离子刻蚀的深度？

我想通过XPS氩离子刻蚀测试样品的成分组成是否均匀， 但不知道氩离子刻蚀的深度？

特此请教各位！


谢谢 ！

[ Last edited by 纳米虫虫 on 2009-2-27 at 10:23 ]
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1楼 2009-02-27 09:28:25
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zuozhijun5134

至尊木虫 (文坛精英)
★
^_^@^_^(金币+1,VIP+0):QQQ 3-7 10:41
不同的仪器是不一定的
一般要经过Ta2O5的校正
还有就是你是要看样品的均匀
那样品的可是深度对你的分析应该误差不大
你可以去问问测试人员
他们手里都有那个转化公式
这里不能打印公式
不好意思
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2楼2009-03-03 14:42:08
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纳米虫虫

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by zuozhijun5134 at 2009-3-3 14:42:
不同的仪器是不一定的
一般要经过Ta2O5的校正
还有就是你是要看样品的均匀
那样品的可是深度对你的分析应该误差不大
你可以去问问测试人员
他们手里都有那个转化公式
这里不能打印公式
不好意思

非常感谢你的帮助

主要是我还没找到能够做这个实验的老师
是想先知道这种表征的效果如何
然后再决定是否要做这个实验

刚才听一位师兄讲了
说是随着刻蚀时间的增长
如果样品的组成没有变化
就说明样品是均匀的...
至于厚度问题
我还是不晓得
这个重要不重要...
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3楼2009-03-04 16:06:05
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