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研磨抛光行业 已有3人参与
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| 求助各位虫友，有没有做研磨抛光行业的，请问研磨铜盘不同的开槽方式对加工工件有什么影响吗？非常感谢 |
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送红花一朵 5楼2018-03-08 21:05:04
z2842223
木虫 (正式写手)
- 应助: 33 (小学生)
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- 虫号: 2408837
- 注册: 2013-04-09
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2017-12-07 09:21:31
3楼2017-12-07 14:20:55
【答案】应助回帖
| 其实开槽主要解决的是1个问题，因为研磨液一般选择的颗粒粒径都比较大，研磨颗粒想进入工件和研磨盘之间比较困难，所以才需要开槽。那开槽会带来什么样的负面影响了，你开槽的面积越多，导致研磨盘和工件的接触面积就会越少。这样对工件的直接影响就是，工件局部压力过大，容易碎片，局部过抛，整体TTV下降。至于开槽的形貌一般有同心圆型，菱形，正方形等等，这些需要建模分析并且结合具体的工艺看实际情况，这里不好表述。目前铜盘研磨在确保相同速率的情况下，抛光头左右摆动，用同心圆型的比较好。 |
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4楼2018-02-06 09:16:30