| 查看: 1160 | 回复: 6 | ||
[求助]
研磨抛光行业 已有3人参与
|
| 求助各位虫友,有没有做研磨抛光行业的,请问研磨铜盘不同的开槽方式对加工工件有什么影响吗?非常感谢 |
» 猜你喜欢
不自信的我
已经有11人回复
北核录用
已经有3人回复
要不要辞职读博?
已经有6人回复
实验室接单子
已经有3人回复
磺酰氟产物,毕不了业了!
已经有8人回复
求助:我三月中下旬出站,青基依托单位怎么办?
已经有10人回复
26申博(荧光探针方向,有机合成)
已经有4人回复
论文终于录用啦!满足毕业条件了
已经有26人回复
2026年机械制造与材料应用国际会议 (ICMMMA 2026)
已经有4人回复
Cas 72-43-5需要30g,定制合成,能接单的留言
已经有8人回复
z2842223
木虫 (正式写手)
- 应助: 33 (小学生)
- 金币: 2982.7
- 散金: 48
- 红花: 7
- 沙发: 4
- 帖子: 511
- 在线: 90.5小时
- 虫号: 2408837
- 注册: 2013-04-09
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2017-12-07 09:21:31
3楼2017-12-07 14:20:55
【答案】应助回帖
| 其实开槽主要解决的是1个问题,因为研磨液一般选择的颗粒粒径都比较大,研磨颗粒想进入工件和研磨盘之间比较困难,所以才需要开槽。那开槽会带来什么样的负面影响了,你开槽的面积越多,导致研磨盘和工件的接触面积就会越少。这样对工件的直接影响就是,工件局部压力过大,容易碎片,局部过抛,整体TTV下降。至于开槽的形貌一般有同心圆型,菱形,正方形等等,这些需要建模分析并且结合具体的工艺看实际情况,这里不好表述。目前铜盘研磨在确保相同速率的情况下,抛光头左右摆动,用同心圆型的比较好。 |
» 本帖已获得的红花(最新10朵)
4楼2018-02-06 09:16:30
5楼2018-03-08 21:05:04
6楼2019-09-10 15:15:05
7楼2019-11-22 12:17:45












回复此楼
kuangjiaasan