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研磨抛光行业 已有3人参与
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| 求助各位虫友,有没有做研磨抛光行业的,请问研磨铜盘不同的开槽方式对加工工件有什么影响吗?非常感谢 |
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z2842223
木虫 (正式写手)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2017-12-07 09:21:31
3楼2017-12-07 14:20:55
【答案】应助回帖
| 其实开槽主要解决的是1个问题,因为研磨液一般选择的颗粒粒径都比较大,研磨颗粒想进入工件和研磨盘之间比较困难,所以才需要开槽。那开槽会带来什么样的负面影响了,你开槽的面积越多,导致研磨盘和工件的接触面积就会越少。这样对工件的直接影响就是,工件局部压力过大,容易碎片,局部过抛,整体TTV下降。至于开槽的形貌一般有同心圆型,菱形,正方形等等,这些需要建模分析并且结合具体的工艺看实际情况,这里不好表述。目前铜盘研磨在确保相同速率的情况下,抛光头左右摆动,用同心圆型的比较好。 |
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4楼2018-02-06 09:16:30
5楼2018-03-08 21:05:04
6楼2019-09-10 15:15:05
7楼2019-11-22 12:17:45











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