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firsttime铁虫 (小有名气)
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氧化锌TFT测出p型特性已有1人参与
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大家好，我做了一种氧化锌的薄膜晶体管，用吉时利4200测试晶体管转移特性曲线。器件结构是用p型硅作为栅极，100nm厚的氧化硅作为绝缘层，金作为源漏极。结果测试所得的曲线全都如下图1。这是我仪器设置的问题吗，还是漏电流太大的原因？我也用其他结构的器件测试过，也是这种p型的转移曲线，求问大神告知如何解决这种问题。  1.jpg |
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