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firsttime

铁虫 (小有名气)

[求助] 氧化锌TFT测出p型特性已有1人参与

大家好,我做了一种氧化锌的薄膜晶体管,用吉时利4200测试晶体管转移特性曲线。器件结构是用p型硅作为栅极,100nm厚的氧化硅作为绝缘层,金作为源漏极。结果测试所得的曲线全都如下图1。这是我仪器设置的问题吗,还是漏电流太大的原因?我也用其他结构的器件测试过,也是这种p型的转移曲线,求问大神告知如何解决这种问题。

氧化锌TFT测出p型特性
1.jpg
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你好
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firsttime

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 1192313852 at 2017-12-14 16:27:05
你这是用4200直接测出来的吗?输出特性曲线是什么样子的

是用4200测得。可能是SiO2层被击穿了,然后表现出栅极P型Si的晶体管性能。
你好
4楼2017-12-26 14:24:39
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